23系列超高纯度直连式减压阀具有 10 Ra 微英寸的光洁度，且流通能力高达 950SLPM。23 系列使用束缚膜片，采用内部无弹簧且无螺纹设计，入口压力为 17.2bar/250psig，出口压力可达 6.9bar/100psig。非常适合用于高流量直连式减压阀，是吹扫应用的理想选择。

规格

特点

• 光滑、无阻碍的流径，可进行全面的吹扫

• 采用无弹簧和无螺纹结构，可进一步减少颗粒的产生

• 带有可定位阀帽的完全关闭密封件

• 膜片与阀体密封件之间采用金属对金属设计，提供一流的密封性

• 符合 SEMI F19、UHP 等级要求

选型及价格说明：

尊敬的客户，由于每个系列的产品都对应着多种不同的组合型号，而这些型号是需要根据您的技术要求来确定。同时，不同的型号的产品价格也是不同的，需要咨询产品价格、货期、购买产品、技术参数规格索取、技术及产品调试咨询、商务合作请联系我们。