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TESCOM™ 64-3600系列高灵敏度调压器
64-3600系列超高纯度、高灵敏度减压型调压器提供低压降、束缚阀膜设计,具备 10 Ra/0.25 微米表面光洁度以及可选的 Hastelloy® 阀内件。
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64-3600系列超高纯度、高灵敏度减压型调压器提供低压降、束缚阀膜设计,具备 10 Ra/0.25 微米表面光洁度以及可选的 Hastelloy® 阀内件。进口压力为 600 或 3500 psig(41.4 bar 或 241 bar),出口压力可高达 150 psig (10.3 bar)。非常适合用于 1/4" 使用点、气瓶柜、半导体制造和阀箱应用。
规格
压力额定值 | 最大进口压力:600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar |
出口压力范围:30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar | |
阀体材质 | 经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢 |
阀膜 | Hastelloy® |
阀座 | PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel® |
阀杆和阀弹簧 | 316 不锈钢 |
其他部件 | 316 不锈钢或 Hastelloy® |
工作温度 | Teflon® PFA 阀座:-40 至 71°C/-40 至 160°F |
Vespel® 阀座:-40 至 177°C/-40 至 350°F | |
PCTFE 阀座:-40 至 60°C/-40 至 140°F | |
端口尺寸和类型 | 1/4、1/2 |
外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC | |
1/4 管接头 | |
流通能力 | Cv = 0.15 或 0.06 |
重量 | 2 lb / 0.9 kg |
其他信息 | 如需获得定制化型号或完整的系统解决方案,请联系我们。 |
特点
内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米
阀膜与阀体之间采用金属对金属密封,提供一流的密封性
内部经全面电解抛光处理
旨在减少半导体气体系统中的压力波动
满足严苛的半导体行业的使用点和
气瓶应用要求
选型及价格说明:
尊敬的客户,由于每个系列的产品都对应着多种不同的组合型号,而这些型号是需要根据您的技术要求来确定。同时,不同的型号的产品价格也是不同的,需要咨询产品价格、货期、购买产品、技术参数规格索取、技术及产品调试咨询、商务合作请联系我们。
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